2.1.3.1隔膜阀
图2-3所示为隔膜式真空阀。隔膜阀适用于真空系统的接通或截止,它是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上来隔断气路。橡皮弹性薄膜上有一提钮,提起提钮,通道接通;反之,压紧就截止。如转动手轮可带动阀杆上、下移动,使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁腈橡胶隔膜,适用于前级和预抽管道上及温度为-25~80℃的非腐蚀性气体;如采用氟橡胶隔膜,可用于高真空系统,使用温度范围为-30~150℃。图2-4为高真空隔膜阀的结构形式,表2-3给出了高真空隔膜阀阀门的基本参数与连接尺寸。
图2-3隔膜式真空阀
1—手轮;2—阀杆螺母;3阀杆;4阀芯;5—阀盖;6一隔膜;7一阀体
图2-4为高真空隔膜阀的结构形式